ガンマ線検出を指向した高感度光ファイバ温度センサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-134

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): High Sensitive Fiber Temperature Sensor for Gamma-Ray Measurement

著者名: 横山万緒（兵庫県立大学）,木村慧（兵庫県立大学）,神田健介（兵庫県立大学）,藤田孝之（兵庫県立大学）,前中一介（兵庫県立大学）

著者名(英語): Mao Yokoyama (University of Hyogo),Satoshi Kimura (University of Hyogo),Kensuke Kanda (University of Hyogo),Takayuki Fujita (University of Hyogo),Kazusuke Maenaka (University of Hyogo)

キーワード: MEMS|光ファイバ|ガンマ線|バイメタル|メムス|ヒカリファイバ|ガンマセン|バイメタル

要約(日本語): 放射線治療において，治療の安全を確保するため，ガンマ線の照射量をリアルタイムに検出することが強く求められている。本研究では，ガンマ線照射による温度上昇をMEMSバイメタルの変位によって検出することで間接的に照射量を検出するMEMSセンサの設計を行なった。感度とサイズは相反の関係にあるため，適切な構造を確認することを目的にバイメタルの直径を125 μm，900 μm，2 mmの3種設計し，それぞれ1 ℃変化あたり3.95 nm，0.731 μm，0.131 μm変位する。デバイス全体直径3 mmのデバイスで分解能0.01 ℃程度が得られることが期待される。

本誌掲載ページ: 193-194 p

原稿種別: 日本語