圧電ダイアフラム型マイクロ超音波センサの下部電極引張力による高感度化座屈撓み制御

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-136

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Diaphragm buckling control of piezoelectric ultrasonic microsensors through tensile force of bottom electrode

著者名: 西川顕史（京都工芸繊維大学）,清田元一郎（京都工芸繊維大学）,山下馨（京都工芸繊維大学）

著者名(英語): Akifumi Nishikawa (Kyoto Institute of Technology),Genichiro Kiyota (Kyoto Institute of Technology),Kaoru Yamashita (Kyoto Institute of Technology)

キーワード: MEMS|圧電|超音波センサ|ダイアフラム|座屈|応力|MEMS|アツデン|チョウオンパセンサ|ダイアフラム|ザクツ|オウリョク

要約(日本語): ダイアフラム型圧電MEMS超音波センサを高感度化するための座屈撓み形状について，下部電極Pt膜の引張力により制御することを検討した。Ptの膜厚を変えてウェハの反りを測定することからPt膜の引張応力を算出し，現状の設計から膜厚を薄くすることにより最大で50%程度撓みを増大できることがわかった。

本誌掲載ページ: 195-196 p

原稿種別: 日本語