ボンディングワイヤのUV硬化樹脂封止によるMEMS触覚センサの耐久性向上

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-139

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Improvement of Durability of MEMS Tactile Sensor by Sealing Bonding-Wire with UV Curable Resin

著者名: 高橋佑司（新潟大学）,高橋拓海（新潟大学）,安部隆（新潟大学）,野間春生（立命館大学）,寒川雅之（新潟大学）

著者名(英語): Yuji Takahashi (Niigata University),Takumi Takahashi (Niigata University),Takashi Abe (Niigata University),Haruo Noma (Ritsumeikan University),Masayuki Sohgawa (Niigata University)

キーワード: ボンディングワイヤ|UV硬化樹脂|MEMS|触覚センサ|耐久性|ボンディングワイヤ|ユーヴイコウカジュシ|メムス|ショッカクセンサ|タイキュウセイ

要約(日本語): 本研究では、MEMS触覚センサの耐久性向上のため、PDMSより高硬度のUV硬化樹脂を用いて配線接続部の保護を行い、垂直荷重に対するセンサの応答および耐久性を従来のセンサと比較した。荷重に対する本センサの応答に関しては、従来のセンサとほぼ同等の応答を示したことから、配線接続部における保護樹脂の有無による影響はほぼないと見られる。配線接続部の耐久性に関しては、PDMSで封止された従来のセンサでは過大な荷重がかかった際、短絡による著しい抵抗の低下が見られた。一方、UV硬化樹脂を用いて配線接続部を保護した本センサでは、このような現象が起きないため、より高い荷重への耐性を持つことが示された。

本誌掲載ページ: 198-199 p

原稿種別: 日本語