フォトリソグラフィ一括加工した微細パターン付き圧延ロールによるアルミ板の表面処理

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-140

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Aluminum Surface finishing Using Roll with Micro-Pattern Prepared by 3D Photolithography

著者名: 弓削英翔（豊田工業大学）,鈴木大瑛（豊田工業大学）,佐々木実（豊田工業大学）

著者名(英語): Hideto Yuge (Toyota Technological Institute),Hiroaki Suzuki (Toyota Technological Institute),Minoru Sasaki (Toyota Technological Institute)

キーワード: 3次元フォトリソグラフィ|圧延ロール|テクスチャリング|シート|アルミ表面処理|サンジゲンフォトリソグラフィ|アツエンロール|テクスチャリング|シート|アルミヒョウメンショリ

要約(日本語): 新しい三次元フォトリソグラフィ技術により、圧延ロール円筒面にリングパターンのアレイを微細加工した。新手法では、平面として扱えるシート状にてレジスト膜を用意するため、平面基板を想定するフォトリソグラフィ装置をそのまま利用できる上、マスクとレジスト膜を密着させて露光を済ますため、微細パターンの形成に適している。転写した形状は、従来のステンシルマスクではできないリング形状である上に、従来報告と比べて寸法がより微細であった。一括処理となる転写とウェットエッチングにより圧延ロールを加工した。ロール円筒面に尖った構造は見当たらなかった。形状転写されたアルミ板はむしれることなく、一様な艶消し面となった。

本誌掲載ページ: 199-201 p

原稿種別: 日本語