ダブルミラー構造を有する小型光散乱式センサーの粒子検出シミュレーションモデル検証

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-150

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Simulation study on a detection property of a compact light-scattering-type sensor with a double-side mirror structure

著者名: 中井賢也（三菱電機）,榎望（三菱電機）

著者名(英語): Kenya Nakai (Mitsubishi Electric Corp.),Nozomi Enoki (Mitsubishi Electric Corp.)

キーワード: 粒子状物質|微粒子|光散乱|ミー散乱|リュウシジョウブッシツ|ビリュウシ|ヒカリサンラン|ミーサンラン

要約(日本語): 大気中の微粒子を高精度に計測する小型の光散乱方式のセンサーを開発している。本センサーは、粒子の散乱光を効率的に受光素子に導く2枚の非球面ミラーを搭載した構成（ダブルミラー構成）を有する。本発表では、センサーの粒子検出特性を評価するための光学解析モデルを検証している。本解析モデルは、センサー内部にある検出領域での粒子の空間分布、ダブルミラーの粒子散乱光の検出効率の空間分布、照射光ビームのパワー密度分布、粒子サイズに応じたミー散乱光強度分布を考慮し、実際のセンサーで出力される検出波形を求める。センサー試作機の特性と比較し、本モデルの検証について報告する。

本誌掲載ページ: 213-215 p

原稿種別: 日本語