誘電泳動集積を用いて作製したCNT/SnOセンサの集積時間によるNO2検出特性の変化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-158

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル：誘電泳動集積を用いて作製したCNT/SnOセンサの集積時間によるNO₂検出特性の変化

タイトル(英語): NO₂ Detection Characteristics Dependence on Dielectrophoretic Integration Time of CNT / SnO₂ Gassensors

著者名: 小田剛士（九州大学）,河野雅紀（九州大学）,稲葉優文（九州大学）,中野道彦（九州大学）,末廣純也（九州大学）

著者名(英語): Takenori Oda (Kyushu University),Masaki Kono (Kyushu University),Masafumi Inaba (Kyushu University),Michihiko Nakano (Kyushu University),Junya Suehiro (Kyushu University)

キーワード: ガスセンサ|カーボンナノチューブ|二酸化スズ|二酸化窒素検出|ニサンカスズ|ニサンカチッソケンシュツ

要約(日本語): 我々は以前にNO2検出を目的として、CNT/SnO2混合懸濁液を電極間に滴下させ誘電泳動集積を行うことでCNT/SnO2複合ガスセンサを作製し、懸濁液濃度比の最適化を行った。しかし、この方法で作製したセンサは集積量が少なく、検出部の抵抗変化による応答が測定系の検出上限に到達する問題があった。そこで本論文では、集積状況の改善を目的として、懸濁液を一定流入させながら誘電泳動集積を行う手法をとり、集積時間によるセンサ応答の変化を調査した。溶液は滴下で作製した際に最も優れた応答を示した条件で調製し、集積時間は5分から2時間で変化させた。結果、集積時間1時間で十分な量の複合物を集積させることができた。

本誌掲載ページ: 223-225 p

原稿種別: 日本語