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RFプラズマ処理によるステンレスの窒化

RFプラズマ処理によるステンレスの窒化

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カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-171

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Nitriding of Stainless Steel by Plasma Treatment

著者名: 田宮拓朗(日本大学),金澤一生(日本大学),原健人(日本大学),深田智久(日本大学),矢澤翔大(日本大学),新妻清純(日本大学)

著者名(英語): Takuro Tamiya (Nihon University),Issei Kanazawa (Nihon University),Kennto Hara (Nihon University),Tomohisa Fukada (Nihon University),Shota Yazawa (Nihon University),Kiyozumi Niizuma (Nihon University)

キーワード: ステンレス|窒化処理|RFプラズマ|ステンレス|チッカショリ|RFプラズマ

要約(日本語): ステンレス鋼は鉄を主成分としてクロムを10.5%以上含む、錆びにくい合金であり、近年は使用用途の多様化に伴い、耐摩耗性を向上させる表面硬化処理技術の確立が望まれている。表面硬化技術として、ステンレス鋼表面に窒化層を生成する窒化処理を施すことで硬さや耐摩耗性の向上が見込めることが知られている。そこで、本研究ではRFプラズマ処理によるステンレス鋼(SUS304)の窒化による硬化を試みる。また、窒化処理条件を変化させて試料を作製し、表面硬度の観点からみた最適窒化処理条件を調べた。

本誌掲載ページ: 279-280 p

原稿種別: 日本語

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