圧力増加時における真空アーク陰極点の移動方向の割合

カテゴリ: 全国大会

論文No: 6-012

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Rate of Moving Direction of Vacuum Arc Cathode Spot with Increasing Pressure.

著者名: 河内皓暉（東京都市大学）,カナシロ　タングタケヒデ（東京都市）,竹田悠莉子（東京都市）,島﨑将至（東京都市）,真栄田義史（東京都市大学）,岩尾徹（東京都市大学）

著者名(英語): HIroki Kochi (Tokyo City University), Takehide Kanashiro Tang (Tokyo City University),Yuriko Takeda (Tokyo City University),Masashi Simazaki (Tokyo City University),Yoshihumi Maeda (Tokyo City University),Toru Iwao (Tokyo City University)

キーワード: 真空アーク|陰極点|逆行運動|シンクウアーク|インキョクテン|ギャッコウウンドウ

要約(日本語): 真空アーク陰極点による表面処理技術は二次廃棄物を最小限にとどめることが出来る。しかし，雰囲気圧力が低すぎる場合，コストと排気時間を要するという問題がある。よって，圧力を可能な限り大気圧に近い状態で陰極点を制御することが期待されるが，高い圧力状態における真空アーク陰極点の移動の知見がない現状である。本実験では圧力を変化させ横磁界印加時における逆行運動の割合の算出を行うことを目的とした。実験結果として，圧力が上昇すると同じ磁束密度で横磁界を印加しているにも関わらず，順方向に陰極点が移動する割合が増加する。また,磁束密度が一様な場合，圧力が低いほど陰極点の移動角度

本誌掲載ページ: 18-19 p

原稿種別: 日本語