音響放射力浮揚を利用した光硬化による微小球共振器の作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-018

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): Production of Photocurable Microspheres Resonators by Using Acoustic Levitation System

著者名: 橋本龍太郎（日本大学）,鈴木薫（日本大学）,松田健一（日本大学）,胡桃聡（日本大学）

著者名(英語): Ryuutaro Hashimoto (Nihon University),Kaoru Suzuki (Nihon University),Kenichi Matsuda (Nihon University),Satoshi Kurumi (Nihon University)

キーワード: 微小球|WGM共振|超音波浮揚|音響放射力|microsphere|WGM resonance|Ultrasonic levitation|Acoustic radiation pressure

要約(日本語): 微小球共振器は小型かつ高性能な光素子として期待される技術の一つである．微小球が透明かつ外部に比べ屈折率が高い場合，微小球内部に侵入した光が球とその外部の境界面で全反射を繰り返し回り続け位相が合うことにより共振する．この共振をWhispering Gallery Mode（WGM)共振と呼び，極微小でありながら高いQ値を持つ特徴がある。本研究では，微小球共振器の新しい作製法として音響放射力浮揚現象によって光硬化性シルセスキオキサンの液滴を浮揚させ，これをUV光により硬化させるプロセス技術を使用し微小球を作製

原稿種別: 日本語

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