純水の高圧噴霧における帯電特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-048

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): Charging characteristics in high-pressure pure water spray

著者名: 福岡靖晃（愛知工業大学）,原田翔太（愛知工業大学）,日比信利（愛知工業大学）,綿貫裕太（愛知工業大学）,森竜雄（愛知工業大学）,瀬川大司（旭サナック）,小林義典（旭サナック）,宮地計二（旭サナック）,清家善之（愛知工業大学）

著者名(英語): Yasuaki Fukuoka (Aichi Institute of Technology),Shota Harada (Aichi Institute of Technology),Shinri Hibi (Aichi Institute of Technology),Yuta Watanuki (Aichi Institute of Technology),Tatsuo Mori (Aichi Institute of Technology),Taishi Segawa (ASAHI SUNAC C

キーワード: 静電気障害|純水|高圧スプレー|ファラデーケージ|Electro Static Discharge|Pure water|High pressure spray|Faraday Cage

要約(日本語): 近年の半導体デバイスの微細化に伴い、洗浄工程における要求も日増しに高まっている。本研究で用いる高圧スプレー洗浄は、メガパスカルオーダーの圧力で純水を噴霧しデバイスに付着した異物を除去する方式である。純水のみを用いる本方式は、薬液を用いないため環境負荷が少ない。しかし、この方式は比抵抗値の高い純水を高速で噴霧するために静電気障害が生じることが問題となってる。  本報告では高圧スプレー噴霧時に生じる電流の極性を観測し、その原因を明らかにした。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 456 Kバイト