換算電界から求めた電子エネルギー分布関数による大気圧非平衡N2プラズマの連続スペクトル解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-050

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): Emission spectrum analysis of atmospheric-pressure non-equilibrium N2 plasma using electron energy distribution function calculated by reduced electric field

著者名: 城井智弘（東京工業大学）,根津篤（東京工業大学）,赤塚洋（東京工業大学）

著者名(英語): Tomohiro Shiroi (Tokyo Institute of Technology),Atsushi Nezu (Tokyo Institute of Technology),Hiroshi Akatsuka (Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 大気圧非平衡プラズマ|N2プラズマ|発光分光計測|換算電界|電子温度|non-equilibrium atmospheric-plasma|N2 plasma|Optical Emission Spectroscopy|reduced electric field|electron temperature

要約(日本語): 近年、大気圧非平衡プラズマ源が開発され、実用上の応用が可能になるまで改良が進んできた。このプラズマは電子温度が高くガス温度が低いため、有機材料など高温に弱い低融点のものに照射することができる。幅広い分野への応用が期待されている一方で、非平衡であるため重要なプラズマパラメータである「電子温度」計測の報告例が少ない。 そこで、本研究では発光分光計測によって大気圧N2非平衡プラズマのスペクトル計測を行い、電子・原子の制動放射現象による連続スペクトルを換算電界から求めた電子エネルギー分布関数を用いて解析することで

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 435 Kバイト