準大気圧純酸素バリア放電における酸素原子密度のTALIF計測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-051

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): TALIF measurement of atomic oxygen density in pure oxygen barrier discharge under semi-atmospheric pressure

著者名: 岩田優太（東京都立大学）,杤久保文嘉（東京都立大学）,中川雄介（東京都立大学）

著者名(英語): Yuta Iwata (Tokyo Metropolitan University),Fumiyoshi Tochikubo (Tokyo Metropolitan University),Yusuke Nakagawa (Tokyo Metropolitan University)

キーワード: 純酸素プラズマ|二光子吸収レーザー誘起蛍光法|準大気圧|バリア放電|酸素原子|pure oxygen plasma|Two-photon absorption laser induced fluorescence|semi-atmospheric pressure|barrier discharge|atomic oxygen

要約(日本語): 大気圧プラズマの多様な適用対象を維持しつつ、酸素原子を長寿命化させるという観点から、大気圧よりやや減圧した数十 kPaの準大気圧を対象としてTALIFによる酸素原子の密度変化計測を行った。純酸素を流入したチャンバ内の針対球電極にパルス高電圧を印加しプラズマを発生させ、ギャップ間に226 nmのレーザーを照射し845 nmの蛍光を光電子倍増管で観測した。20~95 kPaの酸素原子密度時間変化結果では放電直後の酸素原子密度は50 kPa付近で極大になった。酸素原子の寿命は減圧による反応速度の低下で長くなった

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 373 Kバイト