大気圧低温プラズマジェットの径方向分布に対する熱電子注入効果

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-052

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): Effect of Hot-electron Injection on the Radial Profiles of an Atmospheric Plasma Jet

著者名: 石橋凌（近畿大学）,牟田浩司（近畿大学）

著者名(英語): Ryo Ishibashi (Kindai University),Hiroshi Muta (Kindai University)

キーワード: 大気圧プラズマジェット|ダブルプローブ|熱電子

要約(日本語): 大気圧低温プラズマジェットにおいて、ガラス管に低周波を印加して発生させる誘電体バリア放電方式は、装置が簡便で低コストで実現できることから広く用いられているが、プラズマジェットのサイズから小面積のプロセスに限られる。 本研究では、プラズマジェットの直径を拡大するために、熱電子の利用を試み、独自に開発した大気圧プラズマ用ダブルプローブ計測システムを用いてプラズマパラメータを測定し、熱電子がプラズマに与える影響を調べた。その結果、熱電子を注入することにより、電子温度を大きく変えることなく電子密度の径方向分布を

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 480 Kバイト