N2ガスを導入したレーストラック型Ar誘導熱プラズマの基板上空間におけるN2+回転・振動温度分布

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-053

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): Distribution of Rotational and Vibrational Temperature of N2+ above Substrate Space in Racetrack Type Ar Induction Thermal Plasmas with N2 Gas

著者名: 原弘也（金沢大学）,大関元紀（金沢大学）,杉山祐樹（金沢大学）,田中康規（金沢大学）,中野裕介（金沢大学）,石島達夫（金沢大学）,幸本徹哉（シー・ヴィー・リサーチ）,川浦廣（シー・ヴィー・リサーチ）

著者名(英語): Hara Hiroya (Kanazawa University),Ozeki Genki (Kanazawa University),Sugiyama Yuki (Kanazawa University),Tanaka Yasunori (Kanazawa University),Nakano Yusuke (Kanazawa University),Ishizima Tatsuo (Kanazawa University),Yukimoto Tetsuya (CV Research Corporati

キーワード: 誘導熱プラズマ|レーストラック型熱プラズマ|分光観測|induction thermal plasmas|race track type of thermal plasma|spectrometric observation

要約(日本語): 本研究室では，誘導熱プラズマを用いた大面積表面処理のため新たにレーストラック型誘導熱プラズマ（ICTP）装置を開発した。レーストラック型にすることで直線部分を有する誘導熱プラズマが生成でき，大面積処理に有利である。この装置における基板上空間の分子回転・振動温度を算出することで，ガス温度，電子温度のオーダとそれらの分布を評価できる。本報では，圧力変更時のAr/N2 誘導熱プラズマの分光観測から窒素分子系粒子の回転温度および振動温度とその分布を求めた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,058 Kバイト