RF電界・直流磁界下実ガス中電子ドリフト速度電界応答位相観察

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-057

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): Observation of RF response phase of electron drift velocity in real gas under RF electric and DC magnetic fields

著者名: 中田裕也（北海道大学）

著者名(英語): Yuya Nakata (Hokkaido University)

キーワード: 誘導結合磁化プラズマ|電子ドリフト速度|モンテカルロシミュレーション|衝突周波数|電子エネルギー利得|位相|magnetized inductively coupled plasmas|electron drift velocity|monte carlo simulations|collision frequency|electron energy gain|phase

要約(日本語): RF電界E（t）と直流磁界Bの下で駆動する誘導結合磁化プラズマは、磁界による電子流制御の材料プロセス応用が期待されている。筆者らは解析例が少ないE（t）×B下の電子平均速度ベクトルWに着目し、電子エネルギー利得とWの関係を解明するためWのE（t）に対する位相差のB依存性を解析した。モンテカルロ法粒子追跡によりWを算出し、追跡終盤1RF周期のWのE×B方向、E方向各成分について、RF電界周波数fおよび2f、3fの正弦波を重ねた式でフィッティングし求めたE（t）に対する位相差が0度また

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 442 Kバイト