弱電離気体プラズマの解析(CLXIII) -四重極質量分析計を用いたフロン系絶縁ガスの解離種測定-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-061

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): Studies on weakly ionized gas plasma (CLXIII) -Dissociated species measurement of fluorocarbons using a quadrupole mass spectrometer-

著者名: 木村寛夢（室蘭工業大学）,高橋一弘（室蘭工業大学）,佐藤孝紀（室蘭工業大学）,笹原涼子（三菱電機）,吉村学（三菱電機）

著者名(英語): Hiromu Kimura (Muroran institute of technology),Kazuhiro Takahasi (Muroran institute of technology),Kohki Satoh (Muroran institute of technology),Ryoko Sasahara (Mitsubishi electric),Manabu Yoshimura (Mitsubishi electric)

キーワード: フロン系絶縁ガス|四重極質量分析計|電子衝突|解離種|fluorocarbons|Quadrupole mass spectrometer|Electron impact|Dissociated species

要約(日本語): SF6の代替ガスとして期待されている低GWPのフロン系ガスの混合ガスにおける絶縁特性調査に必要な電子衝突断面積決定に必要なデータの測定として，フロン系ガスに高エネルギーな電子が衝突した際に生成される解離種を四重極質量分析計(Quadrupole mass spectrometer : QMS)を用いて測定した。電子のエネルギーを変化させて測定を行うことで，解離種生成量の変化を得ることができ，数種類の解離種において電子のエネルギーがしきい値以下となる領域を確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 518 Kバイト