弱電離気体プラズマの解析(CLXIV)-大気圧パルス放電中のフロン系絶縁ガスの分解生成物の調査-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-062

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): Studies on weakly ionized gas plasma (CLXIV)-Investigation of by-products from fluorocarbons in a pulsed discharge at atmospheric pressure-

著者名: 木村友仁（室蘭工業大学）,高橋一弘（室蘭工業大学）,佐藤孝紀（室蘭工業大学）

著者名(英語): Yuto Kimura (Muroran Institute of Technolpgy),Kazuhiro Takahashi (Muroran Institute of Technolpgy),Kohki Satoh (Muroran Institute of Technolpgy)

キーワード: ガス絶縁|パルス放電|分解生成物|gas insulation|pulsed discharge|by-product

要約(日本語): HFO-1234ze(E) – Ar混合ガス中でパルス放電を発生させ，放電発生後のガスをガスクロマトグラフ質量分析計を用いて詳細に調査した。また，電極上の堆積物を赤外吸光光度計を用いて調査した。分解生成物としてC2F6，C2F4，C2HF，CF3C2H，CF3CHCF2の生成が確認され，これらは，放電時間に対してピークを有することから中間生成物のプロファイルを示すが，C2F6の濃度は十分に時間が経過しても減少しないことから気相中の最終分解生成物を考えられる。また，電極上の堆積物にはC-F結合，

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 425 Kバイト