両極性パルス加速器におけるパルスイオンビーム特性に及ぼすアノード電極形状の効果

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-097

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): Effect of Anode Electorode shape on pulsed Ion Beam in Bipolar Pulsed Accelerator

著者名: 石田治康（富山大学）,田中惟与（富山大学）,田上航（富山大学）,伊藤弘昭（富山大学）,竹崎太智（富山大学）

著者名(英語): Haruyasu Ishida (University of Toyama),Yuito Tanaka (University of Toyama),Wataru Tagami (University of Toyama),Hiroaki Itoi (University of Toyama),Haruyasu Ishida (University of Toyama)

キーワード: パルスパワー|両極性パルス加速器|イオンビーム|pulse power|Bipolar Pulse Accelerator|Ion beam

要約(日本語): パルス重イオンビームは炭化ケイ素などの次世代半導体材料に向けた新しいプロセス技術として期待されている。この技術の実現に向け、多様なイオン種のビーム発生とイオンビームの高純度化がパルス重イオンビーム技術には必要である。本研究では、ビームの純度向上を目指し、これまでのパルス重イオンビーム技術に両極性パルス電源を融合させた両極性パルス加速器（Bipolar Pulse Accelerator：BPA）の開発を行ってきた。本発表では、以前からの課題であったイオンビームの発散を解消するため、従来の平板電極形状を変更

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 362 Kバイト