導電性カーボンナノコンポジットの陽子線描画による微細加工

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-018

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): Microfabrication of conductive carbon nanocomposites by proton beam writing

著者名: 野原悠暉（芝浦工業大学）,林秀臣（エコデザイン推進機構）,西川宏之（芝浦工業大学）

著者名(英語): Yuki Nohara (Shibaura Institute of Technology),Hidetaka Hayashi (Eco Design Promotion Network),Hiroyuki Nishikawa (Shibaura Institute of Technology)

キーワード: 陽子線描画|微細加工|ナノコンポジット|proton beam writing|Microfabrication|nano composite

要約(日本語): 近年、高性能、安価で小型なセンサの開発が求められている。本研究は、微細な高アスペクト比構造形成に優れた陽子線描画[1]を用い、各種センサの高機能化を目指した導電性カーボンナノコンポジット材料による微細加工を目的とする。本報告では、導電性カーボンブラックを添加したエポキシ系ネガ型レジストのパターニングを行い、カーボン添加前のレジストパターニングと比較した。その結果、コンポジット化による陽子線に対する感度低下やパターニングサイズの変化はみられないこと、現像後の残存物が多く現像特性が低下していることや意図しない

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 382 Kバイト