MEMS-PZT薄膜による高温PEA法用圧力波センサの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-028

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): Development of piezo sensor using MEMS-PZT for high temperature PEA method

著者名: 小林美穂（東京都市大学）,小林史也（東京都市大学）,三宅弘晃（東京都市大学）,田中康寛（東京都市大学）,神田健介（兵庫県立大学）

著者名(英語): Miho Kobayashi (Tokyo City University),Fumiya Kobayashi (Tokyo City University),Hiroaki Miyake (Tokyo City University),Yasuhiro Tanaka (Tokyo City University),Kensuke Kanda (University of Hyogo)

キーワード: チタン酸ジルコン酸鉛|空間電荷測定法|MEMS|圧電素子|PZT|PEA method|MEMS|Piezoelectric element

要約(日本語): 小型化・高性能化された電気機器に用いられている薄膜絶縁材料の空間電荷蓄積特性を評価するため、本研究では測定装置の高分解能化を行ってきた。測定装置のセンサとして使用しているPVDFの代用として、より音速の速いチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)に注目し、評価を行った。PZT素子に異なる温度条件で分極処理を施した際の圧電性については、温度が高いほど高い圧電性を有していることが確認された。次に、80 ℃下におけるPZTからの出力信号の測定を行ったところ、高温によりPZT試験素子の出力は低下するが圧電性を保持しているこ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 414 Kバイト