超音波顕微鏡を利用した三次元空間電荷観測の基礎検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-035

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): Fundamental Study on Three-dimensional Space Charge Observation by Using Ultrasound Microscope

著者名: 李暁欣（豊橋技術科学大学）,川島朋裕（豊橋技術科学大学）,村上義信（豊橋技術科学大学）,穂積直裕（豊橋技術科学大学）

著者名(英語): Xiaoxin Li (Toyohashi University of Technology),Tomohiro Kawashima (Toyohashi University of Technology),Yoshinobu Murakami (Toyohashi University of Technology),Naohiro Hozumi (Toyohashi University of Technology)

キーワード: 空間電荷|パルス静電応力法|超音波顕微鏡|space charge|pulsed electro-acoustic method|Ultrasound Microscope

要約(日本語): パルス静電応力(PEA)法は電極に接する絶縁物中の空間電荷を測定できるが，電気的計測であるため物理的な内部構造を見ることはできない。筆者らが提案する超音波顕微鏡は高分子基板に接する試料に対し基板背面から超音波を送受して二次元・三次元の音響物性プロファイリングを行うものであり，上記両者を組合せるとエコーで内部構造を観察しながら空間電荷測定を行うことができる。観測系を構築し基礎検討を行ったので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 455 Kバイト