電子線励起によるTOF法を用いた絶縁材料中のキャリア移動度測定システムの構築及び実測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-046

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): Construction and Measurement of Carrier Mobility Measurement System in Insulating Materials Using TOF Method with Electron Beam Excitation

著者名: 田中千可良（東京都市大学）,武田岳大（東京都市大学）,三宅弘晃（東京都市大学）,田中康寛（東京都市大学）

著者名(英語): Tanaka Chikara (Tokyo City University),Takeda Takehiro (Tokyo City University),Miyake Hiroaki (Tokyo City University),Tanaka Yasuhiro (Tokyo City University)

キーワード: キャリア移動度|パルス電子線|carrier mobility|pulsed electron beam

要約(日本語): 現代、量子化学計算により絶縁材料開発のため、キャリア移動度の推定が行われている。電気物性値を把握する事は必須であり、キャリア移動度は絶縁材料の電気伝導や絶縁破壊機構を解明するための最も重要な物性値の一つである。しかし、キャリアの移動度が非常に小さいことや、寿命が短いことから量子化学計算により推定した値を実測する方法はごく少ない報告に留まっている。本研究ではTime of Flight (TOF) 法を用いた電子線により試料内部にキャリアを励起させることで微小な電流を観測し、キャリア移動度の測定を試みている

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 446 Kバイト