スクリーン印刷法によるSWCNTショットキーダイオードの試作と特性評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-070

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): Fabrication and Characterization of SWCNT Schottky Barrier Diode by Using Screen Printing Method

著者名: 西澤貴史（信州大学）,RadovanKukobat（信州大学）,田村圭吾（信州大学）,浦上法之（信州大学）,曽根原誠（信州大学）,佐藤敏郎（信州大学）,金子克美（信州大学）

著者名(英語): Takafumi Nishizawa (Shinshu University),Radovan Kukobat (Shinshu University),Keigo Tamura (Shinshu University),Noriyuki Urakami (Shinshu University),Makoto Sonehara (Shinshu University),Toshiro Sato (Shinshu University),Katsumi Kaneko (Shinshu University)

キーワード: カーボンナノチューブ|半導体|ショットキーダイオード|Carbon-nano-tube (CNT)|Semiconductor|Schottky barrier diode (SBD)

要約(日本語): 単層カーボンナノチューブ(SWCNT) は，極めて優れた電気伝導性や熱伝導性，機械的特性を有しており，実用化されれば，過酷環境下で使用できるデバイスや，フレキシブルなセンサ，Siよりも高耐圧な半導体素子などが期待されている．SWCNT一本を用いて作製した半導体デバイスの報告はあるが，いまだ実用化までは至っていない．筆者らは，Zn/Al分散剤を用いて汎用性の高いSWCNTインクを開発し，スクリーン印刷法によりSWCNT薄膜を作製した．この薄膜に不純物ドーピングを行い，n型SWCNTを得た．さらに，Auをショ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 416 Kバイト