コプレーナ型薄膜磁界センサの電磁界解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-106

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): Analysis of coplanar line type thin film magnetic field sensor by electromagnetic field simulation

著者名: 石原知弥（東北大学）,植竹宏明（電磁材料研究所）,岩崎千里（東北大学）,薮上信（東北大学）,山口正洋（東北大学）

著者名(英語): Tomoya Ishihara (Tohoku University),Uetake Hiroaki (Research institute for Electric and magnetic Material),Iwasaki Chisato (Tohoku University),Shin Yabukami (Tohoku University),Masahiro Yamaguchi (Tohoku University)

キーワード: 磁気センサ|電磁界解析|magnetic field sensor|electromagnetic field simulation

要約(日本語): 筆者らは，伝送線路と磁性薄膜を一体化した薄膜磁界センサについて研究してきた。本稿では，伝送線路および磁性薄膜を薄膜プロセスにより一体化したコプレーナ構造の集積化薄膜磁界センサを作製し，このセンサについて電磁界解析を行い，実測値と比較を行った。センサの測定には，ネットワークアナライザの透過係数法を用いた。また，電磁界解析にはANSYS Electronics Desktop 2020 R1(ANSYS社)の3次元有限要素法による電磁界解析ソフトウェアHFSSを用いた。比較の結果，キャリア周波数に対する透過係

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 520 Kバイト