走査型プローブ顕微鏡用の電圧フィードバック制御回路の小型化とその周波数特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-021

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): Miniaturization of Bias Feedback Circuits for Scanning Probe Microscope and Its Frequency Characteristics

著者名: 山田晃嵩（千葉工業大学）,土井敦史（千葉工業大学）,佐藤宣夫（千葉工業大学）

著者名(英語): Akitaka Yamada (Chiba Institute of Technology),Atsushi Doi (Chiba Institute of Technology),Nobuo Satoh (Chiba Institute of Technology)

キーワード: 電子回路|electronic circuit

要約(日本語): 半導体微細加工技術は，加工線幅が10 nm 以下にまで到達しており，情報通信分野における記録演算用の電子デバイスに留まらず，パワーエレクトロニクス分野でも基盤技術になっている．このことは，素子の小型化が高性能化に直結していることに他ならず，ナノスケール領域でのデバイス評価技術の重要性が増すことにもなる．そのような中で，観測精度を決定する要因の一つとなるフィードバック制御回路は，試料を安定かつ高速に観測するために必要不可欠である．本報告では，走査型プローブ顕微鏡によるナノスケール観測の精度向上のため，既存の

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 330 Kバイト