座屈ダイアフラム上圧電MEMS超音波センサの振動モード解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-139

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): Vibration mode analysis of buckled diaphragms for piezoelectric MEMS ultrasonic sensors

著者名: 出井航（京都工芸繊維大学）,藤井翔太（京都工芸繊維大学）,山下馨（京都工芸繊維大学）,西岡知記（京都工芸繊維大学）

著者名(英語): WATARU DEI (Kyoto Institute of Technology),SHOTA FUJII (Kyoto Institute of Technology),KAORU YAMASHITA (Kyoto Institute of Technology),TOMOKI NISHIOKA (Kyoto Institute of Technology)

キーワード: 超音波センサ|振動モード|ダイアフラム|座屈|固有振動数|ultrasonic sensors|Vibration mode|Diaphragm|Buckling|Natural frequency

要約(日本語): 高感度化のための座屈撓みを持つ圧電MEMSダイアフラム型超音波センサの共振振動の解析を試みた。座屈撓み形状および振動形状を両端固定梁のモード形状を用いて近似したところ, 実測に近い共振挙動を得ることができた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 798 Kバイト