ステンレスメッシュを用いたプラズマの高密度化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-146

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): High Density Plasma Generated by Using Stainless Mesh

著者名: 田中康平（金沢工業大学）,池永訓昭（金沢工業大学）,中川嵩也（金沢工業大学）,高橋宏典（金沢工業大学）

著者名(英語): Kohei Tanaka (Kanazawa Institute of Technology),Noriaki Ikenaga (Kanazawa Institute of Technology),Takaya Nakagawa (Kanazawa Institute of Technology),Hironori Takahashi (Kanazawa Institute of Technology)

キーワード: 高密度プラズマ|カーボン薄膜|高速成膜|high density plasma|amorphous carbon film|high deposition rate

要約(日本語): DLC(Diamond-Like Carbon)膜は高硬度、耐摩耗性、平滑性に優れた硬質アモルファス状炭素薄膜であり, 現在では切削工具や自動車用部品などの機能膜として使用されている.本研究では,DLC膜の成膜速度と密着強度の改善目的とし,PBII法を応用したPBII&D法で成膜を行ってきたが,ステンレスメッシュで作成した箱内に被処理物を設置して成膜することで,DLC膜の成膜速度が大きく改善されることを確認した.本研究でプローブを用いてメッシュ箱内のプラズマに流れる電流を測定した結果,メッシュ箱内

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 307 Kバイト