毛細管効果により形成したカラーフィルタをフォトダイオードに一体化したカラーセンサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-153

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): Patterning of Color Filters by Capillary Force for Color Sensing Applications

著者名: 道垣内公介（立命館大学）,足立悠輔（立命館大学）,小林大造（立命館大学）

著者名(英語): Kosuke Dogaito (Graduate School of Science and Engineering, Ritsumeikan University),Yusuke Adachi (Graduate School of Science and Engineering, Ritsumeikan University),Taizo Kobayashi (Faculty of Science and Engineering, Ritsumeikan University)

キーワード: 毛細管効果|カラーフィルタ|カラーセンサ|フォトダイオード|capillary effect|color filter|color sensor|photodiode

要約(日本語): 我々は可視光波長と適合性が高く、光吸収係数の極めて高いセレン薄膜を用いたフォトダイオードの研究に取り組んできた。本稿ではフォトダイオードに一体化させるRGBカラーフィルタのパターニングについて述べる。カラーフィルタはフォトリソグラフィ法やプリンティング法によるパターニングが報告されている。従来のカラーフィルタは各色のパターンを主にフォトリソグラフィ法を繰り返して作製されている。一方、インクジェット等のプリンティングによるパターニングでは、カラーフィルタ上下面に平滑表面を得ることが難しい。ソフトリソグラフィ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 462 Kバイト