ブリッジ型Pt超薄膜水素センサの感応部形状の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-171

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): Study on the Shape of Sensitive part of Bridge Type Ultra-thin Film Hydrogen Sensor

著者名: 森貴啓（岡山大学）,小部寛人（岡山大学）,王?（岡山大学）,堺健司（岡山大学）,塚田啓二（岡山大学）,近藤健二（リコー電子デバイス）,高橋琢哉（リコー電子デバイス）,中川眞（リコー電子デバイス）,上田尚宏（リコー電子デバイス）

著者名(英語): Takahiro Mori (Okayama University),Hiroto Syoubu (Okayama University),Jin Wang (Okayama University),Kenji Sakai (Okayama University),Keiji Tsukada (Okayama University),Kenji Kondoh (RICOH Electronic Devices),Takuya Takahashi (RICOH Electronic Devices),Mak

キーワード: 水素センサ|超薄膜|白金|ブリッジ型|hydrogen sensor|ultra-thin film|pt|bridge type

要約(日本語): 温室効果ガスの排出や枯渇の可能性から化石燃料等の代替となるエネルギー源として水素が注目されている．しかし，水素は小さく軽いため漏洩しやすく，燃焼範囲が空気中濃度4～75%濃度の広範囲であり危険性がある．よって漏洩検知用の水素センサが必要である．我々は水素に対して触媒作用があり耐久性の高い白金を用いた超薄膜水素センサを開発してきた．本研究ではセンサの一部を被覆してブリッジ回路にすることで温度等の環境要因の影響低減を開発した．さらに出力電圧の感応部表面積依存性を評価した．実験の結果としてセンサ部表面積が増加す

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 379 Kバイト