誘電泳動集積法を用いたFET型両極性カーボンナノチューブガスセンサのNO2に対する応答

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-172

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): Detection of NO2 by effect transistor bipolar carbon nanotube gas sensor using dielectrophoresis

著者名: 中原正太（九州大学）,森田貴文（九州大学）,大町遼（名古屋大学）,稲葉優文（九州大学）,中野道彦（九州大学）,末廣純也（九州大学）

著者名(英語): Nakahara Shota (Kyushu University),Morita Takahiro (Kyushu University),Omachi Haruka (Nagoya University),Inaba Masafumi (Kyushu University),Nakano Michihiko (Kyushu University),Suehiro Junya (Kyushu University)

キーワード: カーボンナノチューブ|電界効果トランジスタ|ガスセンサ|carbon nanotube|field effect transister|gas sensor

要約(日本語): カーボンナノチューブ(CNT)は比表面積が大きく、半導体・金属両方の特性を持ちうるナノ材料であり、ガスセンサへの応用が期待されている。我々はこれまで、誘電泳動集積法により半導体CNTを電界効果トランジスタ（FET）のチャネルに集積したFET型ガスセンサを作製してきたが、n型の挙動は観測できなかった。本研究では、半導体単層CNT懸濁液を変更しデバイス作製NO2応答を取得した。結果としてゲート電圧によりp型/n型が切り替わる両極性の特性と、電流ヒステリシスが観測された。NO2暴露により、全体がゲート電圧正の方

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 520 Kバイト