マルチモーダルガスセンシングに向けたガス透過性制御素子の作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-174

グループ名: 【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集

発行日: 2021/03/01

タイトル(英語): Fabrication of gas permeability control device for multimodal gas sensing

著者名: 和田凌明（豊橋技術科学大学）,和田武（豊橋技術科学大学）,水谷学世（新東工業）,鈴木誉久（新東工業）,崔容俊（豊橋技術科学大学）,高橋一浩（豊橋技術科学大学）,澤田和明（豊橋技術科学大学）,野田俊彦（豊橋技術科学大学）

著者名(英語): Ryomei Wada (Toyohashi University of Technology),Takeru Wada (Toyohashi University of Technology),Manase Mizutani (Sintokogio, LTD.),Yoshihisa Suzuki (Sintokogio, LTD.),Yong-Joon Choi (Toyohashi University of Technology),Kazuhiro Takahashi (Toyohashi Univ

キーワード: ガスセンサ|マルチモーダルセンシング|ガス透過性制御|gas sensor|multimodal sensing|gas permeability control

要約(日本語): 環境計測等の分野で多種多様なガスをセンシングする要求が高まっているが，従来の高感度・高選択性ガスセンサでは対応が困難になっている．本研究では，ガスセンサ上に組み合わせることでガス透過量や時間応答など，ガスセンサの応答特性を変化させるためのグリッド状の素子を提案，試作し，その特性を評価した．提案したガスグリッドは，ガスセンサのガス感応部直前に配置するものである．測定対象ガスはアンモニア，酢酸，エタノールとした．それぞれのガスにおいて，グリッドの有無やグリッドの寸法によって出力電圧や立ち上がり時の傾き，時間応

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 330 Kバイト