高繰り返しナノ秒パルスグロー窒素放電プラズマ生成と数値解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-053

グループ名: 【全国大会】令和4年電気学会全国大会論文集

発行日: 2022/03/01

タイトル(英語): Generation and Numerical Analysis of a High-Repetition Nanosecond Pulsed Nitrogen Glow Discharge Plasma

著者名: 飯田雅之（兵庫県立大学）,政井瞭平（兵庫県立大学）,峯卓馬（兵庫県立大学）,菊池祐介（兵庫県立大学）

著者名(英語): Masayuki Iida (University of Hyogo),Ryohei Masai (University of Hyogo),Takuma Mine (University of Hyogo),Yusuke Kikuchi (University of Hyogo)

キーワード: 高繰り返しナノ秒パルス放電|グロー放電|窒素プラズマ|数値解析|high-repetition nanosecond pulsed discharge|glow discharge|nitrogen plasma|numerical analysis

要約(日本語): ガス圧力0.5 kPaの高繰り返しナノ秒パルス窒素グロー放電を用いた金属材料の窒化や放電現象の基礎的な特性の解明を行っている。繰り返し周波数600kHzにおいて，アフターグローが減衰する前に次のパルス電圧が印加されることから，準定常的にプラズマが生成される。時間分解分光計測から，アフターグロー中でも窒素分子イオンと窒素原子発光が持続していること，振動温度，ガス温度の時間変化を明らかにした。また，流体プラズマモデルをCOMSOL Multiphysicsによる有限要素法を用いてシミュレーションした結果と実験結果との比較を行った。

本誌掲載ページ: 71-72 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 478 Kバイト