準大気圧ヘリウムアーク放電照射による繊維状ナノ構造タングステン形成における 試料バイアス電圧効果

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-078

グループ名: 【全国大会】令和4年電気学会全国大会論文集

発行日: 2022/03/01

タイトル(英語): Effects of sample bias voltage application on fiber-form nanostructured tungsten formation using a helium arc discharge plasma irradiation under sub-atmospheric pressure

著者名: 多司馬光夫（兵庫県立大学）,菊池祐介（兵庫県立大学）,青田達也（ユメックス）,前中志郎（ユメックス）,藤田和宜（ユメックス）,高村秀一（ユメックス）

著者名(英語): Mitsuo Tajima (University of Hyogo),yusuke Kikuchi (University of Hyogo),Tatsuya Aota (Yumex Inc.),Shiro Maenaka (Yumex Inc.),Kazunori Hujita (Yumex Inc.),Shuichi Takamura (Yumex Inc.)

キーワード: 繊維状ナノ構造|ヘリウムプラズマ照射|アーク放電

要約(日本語): タングステン（W）等の金属にヘリウム（He）プラズマを照射すると表面に繊維状ナノ構造が形成され，黒色化することが知られている。我々はこれまでにガス圧力5 kPa 下のHe アーク放電プラズマ照射により繊維状ナノ構造を形成することに初めて成功している。
本研究ではW 試料表面に入射されるHe イオンエネルギーを制御するため，試料バイアス電圧Vb が繊維状ナノ構造形成に与える効果を詳細に調査した。実験では Vb = -52 ~ -242 V としたところ，Vb 上昇により表面のW 繊維直径が細くなること，繊維状ナノ構造の成長速度が速くなることを明らかにした。

本誌掲載ページ: 101-102 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 421 Kバイト