高繰り返しナノ秒パルスグロー放電プラズマを用いたダイヤモンドライクカーボン成膜におけるガス種依存性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-086

グループ名: 【全国大会】令和4年電気学会全国大会論文集

発行日: 2022/03/01

タイトル(英語): Dependences of gas species on diamond-like carbon film preparation using a high-repetition nanosecond pulsed glow discharge plasma

著者名: 川口瑞稀（兵庫県立大学）,峯卓馬（兵庫県立大学）,政井瞭平（兵庫県立大学）,菊池祐介（兵庫県立大学）

著者名(英語): Mizuki Kawaguchi (University of Hyogo),Takuma Mine (University of Hyogo),Ryohei Masai (University of Hyogo),Yusuke Kikuchi (University of Hyogo)

キーワード: ダイヤモンドライクカーボン成膜|高繰り返しナノ秒パルス放電|準大気圧プラズマ|グロー放電|Diamond-like carbon film preparation|high-repetition nanosecond pulsed discharge|sub-atmospheric pressure plasma|glow discharge

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン（DLC）の低コスト成膜を目指して，ガス圧力1.2 kPa下の高繰り返しナノ秒パルスグロー放電プラズマを用いたDLC成膜実験を行った。パルス電圧の周波数（30~250 kHz）と基板温度をパラメータとして膜質を調査した。また，ガス種をHe/CH4，H2/CH4，He/H2/CH4の3種類とした。その結果，H2/CH4では基板温度上昇により膜中の水素含有量が低下するとともに膜硬度は上昇し，最大で17 GPaの硬度が得られた。一方，He/CH4では水素含有量の変化が最も大きく，He/H2/CH4では水素含有量および膜硬度は概ね一定値を示した。

本誌掲載ページ: 111-112 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 386 Kバイト