シース電界を考慮した誘導結合プラズマ中の対向発散磁界共鳴域における電子エネルギー利得解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-088

グループ名: 【全国大会】令和4年電気学会全国大会論文集

発行日: 2022/03/01

タイトル(英語): Analysis of Electron Energy Gain in RF-Resonant Region of Confronting Divergent Magnetic Fields in an Inductively Coupled Plasma with Sheath Electric Field

著者名: 岡崎凌大（北海道大学）,菅原広剛（北海道大学）

著者名(英語): Ryota Okazaki (Hokkaido University),Hirotake Sugawara (Hokkaido University)

キーワード: 誘導結合磁化プラズマ|共鳴磁界域|部分共鳴|電子エネルギー利得|モンテカルロシミュレーション|磁界設計|inductively coupled plasma|resonant magnetic field region|partial resonance|electron energy gain|Monte Carlo simulation|design of magnetic field

要約(日本語): プラズマ閉じ込めや材料損傷低減などの機能性が期待される対向発散磁界を印加した誘導結合磁化プラズマ中では，共鳴域（強度が共鳴磁界の0.5～1.5倍の磁界領域と定義）で電子が加速され易い部分共鳴が観察される。本研究は部分共鳴をプラズマ維持に積極利用するための電磁界設計指針に繋がる知見の獲得が目的である。今回シース電界を新たに考慮した系と導入前の系の共鳴域における電子エネルギー利得（EEG）をモンテカルロ法により観察した。高EEGは前者器壁付近シース中でも見られたが，RFアンテナ付近と器壁から離れた共鳴域の高EEGは両者共通だった。シース電界導入前の部分共鳴に関する基礎的知見は有効と考えられる。

本誌掲載ページ: 113-114 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 464 Kバイト