ガラス上および空気中のマイクロギャップにおける絶縁破壊電圧特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-100

グループ名: 【全国大会】令和4年電気学会全国大会論文集

発行日: 2022/03/01

タイトル(英語): Characteristic of breakdown voltage between electrodes with micro meter gap on glass barrier and in air

著者名: 比田悠斗（兵庫県立大学）,三ツ橋昂起（兵庫県立大学）,岡田翔（兵庫県立大学）,上野秀樹（兵庫県立大学）

著者名(英語): Yuto Hida (University of Hyogo),Koki Mitsuhashi (University of Hyogo),Sho Okada (University of Hyogo),Hideki Ueno (University of Hyogo)

キーワード: マイクロギャップ|絶縁破壊|誘電体|パルス電圧|micro gap|breakdown|dielectric|pulse voltage

要約(日本語): 近年，微細加工技術の発達により，微小ギャップにおいて発生するESDによる機器の故障が問題とされており，絶縁破壊特性の解明，機器をESDから保護する対策部品の開発が求められている。しかし，実誘電体上に電極を配置したマイクロ沿面ギャップにおける放電遅れ時間についての報告はあるものの未解明な点も多いのが現状である。
本研究ではマイクロギャップにおけるガラス上および空気中ギャップの絶縁破壊電圧特性の差異を調査した。
絶縁破壊電圧特性はギャップ長が増加するとフラッシュオーバ電圧が増加傾向を示した。空気中に比べ，ガラス上ギャップの方が破壊電圧が低く，電圧立ち上がり時間の長い方がより低い電圧で絶縁破壊した。

本誌掲載ページ: 125-126 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 481 Kバイト