マイクロギャップにおける絶縁破壊電圧のギャップ長特性と電極材料の影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-102

グループ名: 【全国大会】令和4年電気学会全国大会論文集

発行日: 2022/03/01

タイトル(英語): Gap length dependence and effect of electrode materials of breakdown voltage in microscale gaps

著者名: 三ツ橋昂起（兵庫県立大学）,比田悠斗（兵庫県立大学）,岡田翔（兵庫県立大学）,上野秀樹（兵庫県立大学）

著者名(英語): Koki Mitsuhashi (University of Hyogo),Yuto Hida (University of Hyogo),Sho Okada (University of Hyogo),Hideki Ueno (University of Hyogo)

キーワード: マイクロギャップ|絶縁破壊|仕事関数|パルス電圧|静電気放電|microscale gaps|breakdown|work function|pulse voltage|electrostatic discharge

要約(日本語): 近年，静電気放電から電子機器を保護する重要性が増している。そのため，マイクロギャップでの放電形態を知る必要がある。現在の研究報告では，マイクロギャップにおいてSiとAl電極での絶縁破壊電圧（BDV）-ギャップ長特性が異なることが知られている。我々の研究グループでは，銅電極のみの報告のため，本研究では，マイクロギャップのBDVのギャップ長特性とそれに及ぼす電極材料（タングステン，真鍮，銅）の影響を調査した。実験結果として，すべての電極において，概ねギャップ長が増加するとともにBDVも増加した。電極ごとにBDVを比較すると，概ね，銅＞真鍮＞タングステンとなった。一方，いずれの電極においても印加電圧の極性差は見られなかった。

本誌掲載ページ: 127-128 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 398 Kバイト