空間電荷計測におけるロックイン較正法の成立条件

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-011

グループ名: 【全国大会】令和4年電気学会全国大会論文集

発行日: 2022/03/01

タイトル(英語): Conditions of Lock-in Calibration for Space Charge Measurement

著者名: 歌川真生（豊橋技術科学大学）,李暁欣（豊橋技術科学大学）,川島朋裕（豊橋技術科学大学）,村上義信（豊橋技術科学大学）,穂積直裕（豊橋技術科学大学）

著者名(英語): Masaki Utagawa (Toyohashi University of Technology),Xiaoxin Li (Toyohashi University of Technology),Tomohiro Kawashima (Toyohashi University of Technology),Yoshinobu Murakami (Toyohashi University of Technology),Naohiro Hozumi (Toyohashi University of Technology)

キーワード: 空間電荷|パルス静電応力法|参照信号|ロックイン較正法|Space charge|Pulsed electroacoustic method|Reference waveform|Lock-in calibration

要約(日本語): パルス静電応力法では，計測系がもつ伝達関数を補正するために参照信号を必要とする。空間電荷が生じ難い試料を用いるか，空間電荷が生じない程度に低い電圧下で計測した信号から，電極表面に局在する電荷に由来する信号を取り出して参照信号とし，これを計測系の伝達関数とする。試料形状の問題により空間電荷が生じ難い試料を用いることができない場合や，測定以前に内部帯電が生じている試料などでは，内部の空間電荷による信号が重畳するために，適切な参照信号が取り出せない。筆者らは，擾乱を繰り返し与え，各差分を加算平均した信号を参照信号とするロックイン較正法を提案した。本報告では，ロックイン較正法が成立する条件を参照信号と電界分布により評価した。

本誌掲載ページ: 11-12 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 388 Kバイト