PLD法による可視光応答型光触媒反応に向けた酸化チタンの成膜

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-054

グループ名: 【全国大会】令和4年電気学会全国大会論文集

発行日: 2022/03/01

タイトル(英語): Synthesis of TiO₂ Thin Films for The Visible Light Responsive Photocatalyst Produced by Pulsed Laser Deposition

著者名: 松永大樹（日本大学）,平澤直也（日本大学）,富山和俊（日本大学）,鈴木薫（日本大学）,松田健一（日本大学）,胡桃聡（日本大学）

著者名(英語): Hitoki Matsunaga (Nihon University),Naoya Hirasawa (Nihon University),Kazutoshi Tomiyama (Nihon University),Kaoru Suzuki (Nihon University),Ken-ichi Matsuda (Nihon University),satoshi Kurumi (Nihon University)

キーワード: パルスレーザ堆積|酸化チタン|pulsed laser deposition|titanium dioxide

要約(日本語): パルスレーザ堆積（PLD）法によるTiO₂ 薄膜の成膜条件について検討を行った。パルスレーザ（Lotis Till社製，LS - 2147，波長355 nm，パルス幅16 - 18 ns，レーザエネルギー20 mJ/pulse，照射時間30，60 min）を用いて，基板-ターゲット間距離を変更（20 mm，35 mm，50 mm）して試料を製膜した。その試料を光透過率測定した結果，すべての試料において200 - 400 nmの紫外光領域の光透過率が減少し，TiO₂のバンドギャップ由来の吸収が認められた。

本誌掲載ページ: 59-60 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 414 Kバイト