同軸プラズマガンによる絶縁物基板上へのアルミニウム成膜

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-056

グループ名: 【全国大会】令和4年電気学会全国大会論文集

発行日: 2022/03/01

タイトル(英語): Deposition of Aluminum Thin Films on Insulating Substrates Utilizing a Coaxial Plasma Gun

著者名: 富山和俊（日本大学）,胡桃聡（日本大学）,松田健一（日本大学）,鈴木薫（日本大学）

著者名(英語): Kazutoshi Tomiyama (Nihon University),Satoshi Kurumi (Nihon University),Ken-ichi Matsuda (Nihon University),Kaoru Suzuki (Nihon University)

キーワード: 同軸プラズマガン|Coaxial Plasma Gun

要約(日本語): 同軸プラズマガン（CPG）を用いてアルミニウムを石英基板上に堆積させ透過率測定を行った。成膜した基板では350［nm]以下の波長に対し透過率が低下した。また基板側に電位をかけ，負電位を大きくすることによりCPGから射出されたプラズマが基板上に捕集されることが分かった。

本誌掲載ページ: 61-62 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 343 Kバイト