PLD法で作製した異方性Nd-Fe-B系磁石膜の膜厚が磁気特性に与える影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-073

グループ名: 【全国大会】令和4年電気学会全国大会論文集

発行日: 2022/03/01

タイトル(英語): Effect of thickness on magnetic properties of anisotropic Nd-Fe-B film magnets prepared by PLD method

著者名: 花田真一郎（長崎大学）,山下昂洋（長崎大学）,柳井武志（長崎大学）,中野正基（長崎大学）,福永博俊（長崎大学）

著者名(英語): Shinichirou Hanada (Nagasaki University),Akihiro Yamashita (Nagasaki University),Takeshi Yanai (Nagasaki University),Masaki Nakano (Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga (Nagasaki University)

キーワード: 異方性磁石|PLD法|Nd-Fe-B|Anisotropic magnet|PLD method|Nd-Fe-B

要約(日本語): 本研究では，成膜中の基板加熱によりNd-Fe-B系磁石膜の異方化を試み，その成膜時間（磁石膜の厚み）が結晶構造や磁気特性に与える影響を検討した。成膜時間増加に伴い磁石膜厚が4 μmから48 μmと厚くなっており，どちらの試料も硬磁気特性を発現している様子が確認でき，膜厚の薄い試料は厚い試料に比べて保磁力の値が大きくなっている。X線回折結果は膜厚が薄くなるにつれて，（105）や（006）面のピーク強度が大きくなっていることから，本実験条件では，膜厚（成膜時間）の薄い（短い）試料の方が面直方向への異方化が進む結果となった。

本誌掲載ページ: 81-82 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 426 Kバイト