局所BHループを利用した歪センサの異方性のばらつき評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-079

グループ名: 【全国大会】令和4年電気学会全国大会論文集

発行日: 2022/03/01

タイトル(英語): Evaluation of variation in anisotropy of strain sensors using local BH loops

著者名: 豊田恵伍（東北大学）,石山和志（東北大学）

著者名(英語): Keigo Toyoda (Tohoku University),Kazushi Ishiyama (Tohoku University)

要約(日本語): 磁性膜と導体膜の積層構造からなる逆磁歪効果を用いた歪センサを高感度化するための手法として，異方性の均一化が挙げられるが，今までは均一性を評価できなかった。そこで，カー効果を利用して局所BHループを取得することにより，磁性膜の局所の異方性を測定して均一性を評価した。また，異方性が均一になるよう構造を最適化したセンサの歪-インピーダンス特性を評価し，均一性とセンサ感度の関係について検討した。実験の結果，磁性膜のエッジ部分で異方性が増大することが分かり，エッジを使わず異方性が均一な部分のみを用いた構造のセンサにすると，より高感度であることが確認できた。異方性の均一化がセンサ感度に大きな影響を及ぼすことが明らかとなった。

本誌掲載ページ: 88-89 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 532 Kバイト