Au錘MEMS加速度センサのための減衰定数の簡易解析モデルの検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-131

グループ名: 【全国大会】令和4年電気学会全国大会論文集

発行日: 2022/03/01

タイトル(英語): A Study on Simplified Analytical Damping Constant Model for MEMS Accelerometer

著者名: 柴田滉平（東京工業大学）,内山晃宏（東京工業大学）,大西哲（東京工業大学）,石原昇（東京工業大学）,町田克之（東京工業大学）,曽根正人（東京工業大学）,三宅美博（東京工業大学）,伊藤浩之（東京工業大学）,飯田慎一（NTTアドバンステクノロジ）,小西敏文（NTTアドバンステクノロジ）

著者名(英語): Kohei Shibata (Tokyo Institute of Technology),Akihiro Uchiyama (Tokyo Institute of Technology),Akira Onishi (Tokyo Institute of Technology),Noboru Ishihara (Tokyo Institute of Technology),Katsuyuki Machida (Tokyo Institute of Technology),Masato Sone (Tokyo Institute of Technology),Yoshihiro Miyake (Tokyo Institute of Technology),Hiroyuki Ito (Tokyo Institute of Technology),Shin-ichi Iida (NTT Advanced Technology Corporation),Toshifumi Konishi (NTT Advanced Technology Corporation)

キーワード: 減衰定数|ブラウニアンノイズ|CMOS-MEMS加速度センサ|Au錘|統合設計技術|damping constant|Brownian noise|CMOS-MEMS accelerometer|gold perforated proof mass|multi-physics simulation

要約(日本語): 我々は，ブラウ二アンノイズB_Nを低減するために高密度な Auを錘に採用した高感度CMOS-MEMS加速度センサを研究開発している。Au錘CMOS-MEMS加速度センサの設計及び解析をするための統合設計技術に適用可能な簡易な減衰定数bの解析モデルについて検討してきた。今回，理論式と実測結果に基づいた新たな近似式f（x）からなる減衰定数bの解析モデルを提案した。提案モデルの有効性を確認するために，B_Nの実測結果及び従来モデルによる計算結果との比較を行い，提案モデルの妥当性を確認した。したがって，提案モデルが，Au錘MEMS加速度センサのための統合設計技術に有効であることを確認した。

本誌掲載ページ: 206-207 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 601 Kバイト