金属ストライプ形状に着目した静電型ガス透過特性可変素子の設計と製作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-139

グループ名: 【全国大会】令和4年電気学会全国大会論文集

発行日: 2022/03/01

タイトル(英語): Design and Fabrication of Electrostatically-Variable Gas Permeation Control Devices Focusing on Metal Stripe Shape

著者名: 蓑輪奈穂（豊橋技術科学大学）,和田凌明（豊橋技術科学大学）,水谷学世（豊橋技術科学大学, 新東工業）,鈴木誉久（新東工業）,崔容俊（豊橋技術科学大学）,高橋一浩（豊橋技術科学大学）,澤田和明（豊橋技術科学大学）,野田俊彦（豊橋技術科学大学）

著者名(英語): Naho Minowa (Toyohashi University of Technology),Ryomei Wada (Toyohashi University of Technology),Manase Mizutani (Toyohashi University of Technology),Yoshihisa Suzuki (Sintokogio, LTD.),Yong-Joon Choi (Toyohashi University of Technology),Kazuhiro Takahashi (Toyohashi University of Technology),Kazuaki Sawada (Toyohashi University of Technology),Toshihiko Noda (Toyohashi University of Technology)

キーワード: ガスセンサ|ガス透過特性可変素子|マルチガスセンシング|ガス透過特性の制御|強電界|gas sensor|electrostatically variable gas permeation control device|multi gas sensing|control of gas permeation characteristics|strong electric field

要約(日本語): 本研究ではガスセンサバリエーション増加を目的とした静電型ガス透過特性可変素子の開口面積や電界分布の影響を検証した。提案デバイスは，ストライプ構造に突起を有することで強電界を形成する。初めに電界シミュレーションにより，製作過程で生じる突起の丸みを考慮したときの電界分布を検討した。シミュレーション結果をもとに設計を行い，MEMSプロセスによって提案デバイスの製作に成功した。本素子を用いて，これまで未調査であった開口面積や電界分布の影響について検証した。検証結果から，ガスの流れと電界分布の双方を考慮する必要があることが判明し，ガス透過特性可変素子の最適設計につながる知見を得ることができた。

本誌掲載ページ: 215-216 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 454 Kバイト