二つのひずみゲージを搭載したカンチレバー型MEMS触覚センサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-152

グループ名: 【全国大会】令和4年電気学会全国大会論文集

発行日: 2022/03/01

タイトル(英語): Cantilever-type MEMS tactile sensor with two strain gages

著者名: 岡固創（新潟大学）,髙橋佑司（新潟大学）,安部隆（新潟大学）,野間春生（立命館大学）,寒川雅之（新潟大学）

著者名(英語): So Okako (Niigata University),Yuji Takahashi (Niigata University),Takashi Abe (Niigata University),Haruo Noma (Ritsumeikan University),Masayuki Sohgawa (Niigata University)

キーワード: MEMS触覚センサ|カンチレバー|ひずみゲージ|高感度|対辺2ゲージ法|MEMS tactile sensor|Cantilever|Strain gauge|High sensitivity|Active opposite-leg half-bridge system

要約(日本語): 本研究では，触覚センシングの高精度化のため，カンチレバー型MEMS触覚センサにおけるひずみゲージの設計を改良し，新たに設計したセンサの力に対する応答評価を行った。改良設計に関しては，力検出部であるカンチレバーの固定端左右二箇所にひずみゲージを配置し，センサの高感度化およびカンチレバーのねじり影響相殺を狙った。実験の結果，新設計センサの垂直・せん断荷重に対する感度向上を確認した。また，カンチレバーを横切るせん断荷重に対しては，左右のひずみゲージで逆の応答を示した。したがって，新設計センサは左右のひずみゲージ出力を組み合わせることで，センサ感度向上とねじり影響相殺を両立できることが示された。

本誌掲載ページ: 229-230 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 488 Kバイト