高感度化座屈撓みダイアフラム上圧電 MEMS 超音波センサの座屈撓み量と強誘電的保持特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-153

グループ名: 【全国大会】令和4年電気学会全国大会論文集

発行日: 2022/03/01

タイトル(英語): Buckling deflection and ferroelectric retention of piezoelectric MEMS ultrasonic sensors on buckled structures for high sensitivity

著者名: 近藤里穂（京都工芸繊維大学）,末高知弥（京都工芸繊維大学）,山下馨（京都工芸繊維大学）

著者名(英語): Riho Kondo (Kyoto institute of technology),Tomoya Suetaka (Kyoto institute of technology),Kaoru Yamashita (Kyoto institute of technology)

キーワード: 圧電|強誘電体|ダイアフラム|座屈|分極|piezoelectric|ferroelectric|diaphragm|buckling|polarization

要約(日本語): ダイアフラムを座屈させ静的撓みを導入すると高感度となるダイアフラム型MEMSデバイスを開発している。先の報告で初期撓み量がある程度以上で感度が低下することが報告されている。今回は初期撓み量に対して電圧印加後の撓み量の変化が異なる挙動を示していたことを報告する。結果として，初期撓み量がある程度大きくなると分極が失われる速さが短くなり圧電性能の劣化が見られることが示唆された。また境界となる初期撓みが先の報告でのセンサ感度の低下の範囲と概ね一致した。

本誌掲載ページ: 230-231 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 445 Kバイト