高繰り返しナノ秒パルスグロー窒素放電プラズマの流体シミュレーション

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-044

グループ名: 【全国大会】令和5年電気学会全国大会論文集

発行日: 2023/03/01

タイトル(英語): Fluid Simulation of a High-Repetition Nanosecond Pulsed Nitrogen Glow Discharge Plasma

著者名: 飯田雅之（兵庫県立大学）,菊池祐介（兵庫県立大学）

著者名(英語): Masayuki Iida (University of Hyogo),Yusuke Kikuchi (University of Hyogo)

キーワード: 高繰り返しナノ秒パルス放電|グロー放電|窒素プラズマ|数値解析|high-repetition nanosecond pulsed discharge|glow discharge|nitrogen plasma|numerical analysis

要約(日本語): これまでに高繰り返しナノ秒パルス窒素グロー放電を用いた金属材料の窒化や放電現象の基礎的な特性の調査を行ってきた。本研究ではCOMSOL Multiphysicsによる有限要素法を用いて流体シミュレーションを行った。計算では実験条件と合わせて，ガス圧力0.5kPa，平行平板電極間（ギャップ長：30mm）に生成されるプラズマを解析した。その結果，窒素分子と電子衝突による解離に加えて，窒素分子の解離性再結合が窒素原子生成に重要な反応となることを示した。

本誌掲載ページ: 58-59 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 454 Kバイト