交流電界・直流対向発散磁界下共鳴磁界域における電子エネルギー増加へのRFアンテナ電流由来交流磁界の影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-046

グループ名: 【全国大会】令和5年電気学会全国大会論文集

発行日: 2023/03/01

タイトル(英語): Effect of AC Magnetic Field Induced by RF Antenna Currents on Electron Energy Increase in Resonant Magnetic Field Region under AC Electric and DC Confronting Divergent Magnetic Fields

著者名: 林秀虎（北海道大学）,菅原広剛（北海道大学）

著者名(英語): Shugo Hayashi (Hokkaido University),Hirotake Sugawara (Hokkaido University)

キーワード: 誘導結合プラズマ|対向発散磁界|電子エネルギー|部分共鳴|粒子モデルシミュレーション|交流磁界|inductively coupled plasma|confronting divergent magnetic fields|electron energy|partial resonance|particle model simulation|ac magnetic field

要約(日本語): 本研究はⅩ点プラズマの材料プロセス応用に向け，電子エネルギー獲得機構の一つ共鳴磁界域における部分共鳴に着目している。先行研究では粒子モデルシミュレーションを用いて共鳴磁界域中で電子を全方位に放出し，その際の初期電子条件を変化させることで電子エネルギー獲得の条件依存性を調査してきた。本解析ではRFアンテナ電流による交流磁界をモデルに組み込み，交流磁界が電子エネルギー獲得に及ぼす影響を調べた。交流磁界によりエネルギー獲得量の微減が見られたが，従来モデルで観察された電子エネルギー獲得の条件依存性は定性的にはなお

本誌掲載ページ: 60-61 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 521 Kバイト