RF交流磁界を考慮した誘導結合磁化プラズマ中の対向発散磁界における電子エネルギー利得の解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-047

グループ名: 【全国大会】令和5年電気学会全国大会論文集

発行日: 2023/03/01

タイトル(英語): Analysis of Electron Energy Gain under Confronting Divergent Magnetic Fields in an Inductively Coupled Magnetized Plasma with Consideration of Radio-Frequency Magnetic Field

著者名: 岡崎凌大（北海道大学）,菅原広剛（北海道大学）

著者名(英語): Ryota Okazaki (Hokkaido University),Hirotake Sugawara (Hokkaido University)

キーワード: 誘導結合磁化プラズマ|対向発散磁界|電子エネルギー利得|部分共鳴|モンテカルロシミュレーション|磁界設計|inductively coupled plasma|confronting divergent magnetic fields|electron energy gain|partial resonance|Monte Carlo method|magnetic field design

要約(日本語): プラズマ閉込が期待される対向発散磁界を印加した誘導結合磁化プラズマ中では共鳴磁界域（共鳴磁界強度の0.5～1.5倍の領域と定義）において電子加熱が起き易い部分共鳴現象が観察される。本研究の目的は部分共鳴の現象解明と，部分共鳴と電子閉じ込めの両立のための電磁界設計制御指針獲得である。今回RFアンテナによる交流磁界を新たに考慮した系の電子エネルギー利得（EEG）をモンテカルロ法で算出し考慮前と比較した。RFアンテナ付近と共鳴磁界域の高EEGは共通で微減だったため交流磁界考慮前に得られたEEGに関する基礎的知見

本誌掲載ページ: 61-62 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 669 Kバイト