背後電極を有するマイクロギャップの放電特性における電極材料の影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-053

グループ名: 【全国大会】令和5年電気学会全国大会論文集

発行日: 2023/03/01

タイトル(英語): Influence of electrode material on discharge characteristics in micrometer-scale gap with backing electrode

著者名: 三ツ橋昂起（兵庫県立大学）,比田悠斗（兵庫県立大学）,岡田翔（兵庫県立大学）,上野秀樹（兵庫県立大学）

著者名(英語): Koki Mitsuhashi (University of Hyogo),Yuto Hida (University of Hyogo),Sho Okada (University of Hyogo),Hideki Ueno (University of Hyogo)

キーワード: マイクロギャップ|絶縁破壊|パルス電圧|誘電体|背後電極|micrometer-scale gaps|breakdown|pulse generator|dielectric|backing electrode

要約(日本語): 近年，半導体の微細化により，静電気放電などのサージが問題視されている。そのため，マイクロギャップでの放電現象とそのメカニズムの解明は重要である。しかし，マイクロギャップでの放電現象は未解明な点が多く，放電発生・進展メカニズムは必ずしも明確にはなっていない。そこで，本研究は，背後電極を有するマイクロギャップにおいて電極材料（銅，真鍮，タングステン）が放電機構・放電特性に及ぼす影響について調査した。結果として，絶縁破壊電圧の大きさが銅，真鍮，タングステンの順に小さくなった。また，いずれの電極材料においても，ギ

本誌掲載ページ: 68-69 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 421 Kバイト